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目前全球电子气体市场中,含氟特气约占总量的30%左右,是电子特种气体的重要组成部分,在半导体领域主要用于制作清洗剂、蚀刻剂,也可用于制作掺杂剂、成膜材料等。
新能源锂电池热控
THERMAL CONTROL
目前全球电子气体市场中,含氟特气约占总量的30%左右,是电子特种气体的重要组成部分,在半导体领域主要用于制作清洗剂、蚀刻剂,也可用于制作掺杂剂、成膜材料等。